1., 骨干壩的布局應(yīng)遵循三均衡原則,即單壩區(qū)間控制面積基本均衡,對干支溝的溝道控制基本均衡,單壩淤地面積與區(qū)間控制面積的比值基本均衡。

2.為了減小小尺寸moS器件的短溝道效應(yīng)，采取了改進(jìn)器件的結(jié)構(gòu)、改變溝道摻雜以及減小柵氧化層厚度等措施。

3.實驗得到的半波長與理論計算值在誤差范圍內(nèi)一致，晶面溝道方向的阻止本領(lǐng)略大于隨機(jī)方向的阻止本領(lǐng)。